半導體製造創新:提升功率與效率

依據《經濟學人(The Economist)》的報導:對內,台灣半導體產業貢獻了15%的GDP,教育部甚至在高中推動半導體課程;對外,產出了全球60%的晶片,甚至產出了90%的先進晶片(Advanced chip),讓「半導體」儼然成為台灣在國際間的代名詞。近年來,「第三代半導體」更是成為國際間發展的重要目標。要了解「第三代半導體」,得從「半導體」開始了解。

撰文/許世穎 圖片提供/Shutterstock

金屬這種會導電的材料,稱為「導體(Conductor)」,而橡膠這種不會導電的材料,則稱為「絕緣體」。然而,有這麼一種材料,熱的時候導電效果好,冷的時候則導電效果差。這種材料不算導體也不算絕緣體,導電效果又介於這兩者之間,並會受到外界溫度的影響,因此被稱為「半導體(Semiconductor)」。

這些半導體材料若摻雜一些不同的原料,並且經過適當的組合以後,就可以製造出「電子元件」,能藉由外界給的電來控制它們的導電效果。可以用電燈開關來想像這些元件,電燈開關是利用手來控制電燈有沒有通電,而電晶體則利用另外給的電來控制,如此一來就能做到「用電控制電」的效果。

若再更進一步把一堆電子元件放在一塊小小的板子上,並且由特殊的方法刻上設計好的電路,就成為了我們所說的「積體電路(Integrated Circuit, IC)」,又被稱為「晶片(Chip)」。每片晶片有著自己的功能,電器裡面往往有著數量不等的晶片,就連一台遙控器玩具車,裡面也有著控制馬達的晶片,以及負責無線通訊的晶片。在這個離不開電器的時代,半導體晶片已成為生活中不可或缺的一部分。

把一堆電晶體及其他電子元件等放在一塊小小的晶圓上,並藉由特殊的方法將設計好的電路刻在板子上, 就成了我們所說的「積體電路」。
把一堆電晶體及其他電子元件等放在一塊小小的晶圓上,並藉由特殊的方法將設計好的電路刻在板子上, 就成了我們所說的「積體電路」。

半導體的材料發展

早期的半導體晶片都是以單一元素為材料。最早成熟的半導體晶片的原料是「矽(Si)」元素,直到現在,「矽」做出來的半導體晶片仍占多數,後來人們發現,多元素組合成的「化合物」也能作為半導體,又稱為「化合物半導體」。化合物半導體的出現具有劃時代的意義,就像是球賽單打和雙打一樣,單打就看單一球員的實力,而雙打則多了更多的變化,人們開始將更多元素組合起來,測試各種化合物作為半導體材料的可能性與特性。

最早大規模生產的半導體材料是「矽」、「鍺(Ge)」等這些單一元素,因此又被稱為「第一代半導體」;後來出現的「砷化鎵(GaAs) 」、「磷化銦(InP)」等則被稱為「第二代半導體」;由於這些材料各自有適合使用的領域,因此也有些時候偏好以「第一類」、「第二類」半導體來稱呼。

後來,「第三代(類)半導體」出現了,代表性的材料為「碳化矽(SiC)」與「氮化鎵(GaN)」。第三代半導體是當今國際半導體研究的熱門材料,其主要應用在能源相關的領域。根據市場分析研究機構「集邦科技(TrendForce)」的預估,第三代半導體在能源方面的市場規模,將從2021年的9.8億美元增長到2025年的47.1億美元,年增長率(CAGR)達到 48%!

第三代半導體:新時代、新能源

為什麼第三代半導體能獲得如此的青睞?其原因就出在這些材料的特性上。「碳化矽」與「氮化鎵」做出來的半導體擁有比較寬的「能隙(Band Gap)」,因此又被稱為「寬能隙半導體(Wide-bandgap semiconductor, WBGS)」。「寬能隙」有什麼好處?要知道,當我們對半導體通以較高的電壓時,是有可能把半導體燒壞的,而「寬能隙」的特色,則讓這些半導體得以耐受更高的電壓。在能耐受高電壓的基礎之上,寬能隙半導體還具有耐高溫、低耗能的效果,而這正好完美符合現在的全球共識。

由於氣候變遷等議題逐漸受到重視,「節能減碳」、「淨零碳排」等已成為全球共識,如何更加妥善地運用能源成為重要的課題,而電動車更是在這樣的環境下蓬勃發展。電動車是利用電能來控制車輛,由於涉及電的控制,半導體自然是重要的關鍵。無論是涉及電能的(更加省電、充電更快等),還是希望電動車擁有更多功能(輔助駕駛、自動駕駛、串接物聯網、人工智慧等),這些都需要各式各樣的半導體晶片才有可能做到,而能承受高電壓,耗能又低的第三代半導體就成為了關鍵。

經濟研究院在2023年的專論中指出,相較於第一代半導體完善供應鏈,台灣在第三代半導體目前以製造端較強,而積體電路設計、半導體封裝及測試等環節較弱,為了持續掌握台灣在國際半導體產業的話語權,需要更多的產、官、學的投入。

SEMICON Taiwan2023的技術節錄

2023年在台灣所舉辦的「SEMICON Taiwan 國際半導體展」中,數位講者就發表了關於第三代半導體技術的討論,紛紛提到了第三代半導體在電動車的重要性,以及其單位所進行的研究,包括3D感測、車輛開發等。

除了電動車以外,來自Beneq公司的Patrick Rabinzohn博士介紹到利用「原子層沉積 Atomic Layer Deposition, ALD)」技術來製作碳化矽電晶體(精確來說,為SiC MOSFET)的技術,「原子層沉積」的意思是:在製作晶片時,一次一層原子墊上去,有點像麵包和千層派的差別,藉由這樣一層一層的精密控制,就能夠提升此種碳化矽電晶體的性能與壽命。

來自牛津儀器(Oxford Instruments)的Ian Wright則介紹了「電漿拋光(Plasma Polishing)」技術,又稱為「等離子拋光」,這是一種藉由電漿來將表面變得光滑的技術,過去經常用於金屬表面,而講者則講述將其用在拋光碳化矽表面的技術,以「穩定、環保、有效益」來強調這種技術對於碳化矽半導體製程中的重要潛力。

目前對於第三代半導體的量產,全球都還在摸索階段。藉由SEMICON Taiwan國際半導體展的交流,使台灣在第三代半導體上的發展能夠持續與國際鏈結。

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